웨이퍼 표면방위 교정용 기준물
Surface Orientation of a Single Crystal Wafer
- 표준물질코드
- 20901007-001
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- N/A
- 판매가(VAT포함)
-
770,000원
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- 형태/규격
- GaAs 단결정 웨이퍼 (직경 ≤ 200 mm)
- 서비스유형
- 인증
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 단결정 반도체 웨이퍼의 표면방위 측정용 장비 교정
(These CRMs are used to calibrate measurement instruments for the crystallographic orientation of a surface of a single crystal wafer used for semiconductor devices.)
- 인증값
- 표면방위 (면방위) :± 0.5 deg
* 불확도 : < 0.01 deg
- 측정불확도
- 인증방법
- 고분해능 X-선 응용 측정 (R-207-013)