웨이퍼 표면방위 교정용 기준물
Surface Orientation of a Single Crystal Wafer
- 표준물질코드
- 20901006-001
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- N/A
- 판매가(VAT포함)
-
770,000원
- 바로가기
- 형태/규격
- 직경 ≤ 200 mm, GaAs 단결정 웨이퍼
- 서비스유형
- 인증
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 단결정 반도체 웨이퍼의 표면방위 측정용 장비를 교정하기 위해 사용한다.
( These CRMs are used to calibrate measurement instruments for the crystallographic orientation of a surface of a single crystal wafer used for semiconductor devices. )
- 인증값
- 2 ˚~ 4 ˚
* 불확도 : < 0.015 ˚
- 측정불확도
- 인증방법