표준물질 상세정보

3개  성분 단차 표준시편

표준물질코드
20704021-001
생산·공급기관
한국표준과학연구원
재고수량
N/A
판매가(VAT포함)
550,000원
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형태/규격
3개 선분 단차 표준시편 (명목단차 100 nm, Si wafer)
서비스유형
주문제조
표준물질 구분
인증표준물질
용도
촉침식현미경의 측정 높이를 교정하는 데 사용이 가능함.
인증값
주문시 측정을 통해 인증값과 불확도를 산출함.
예시 : 패턴 A -101.365 nm, 확장불확도(K=2)- 1.836 nm /  패턴 B -102.310 nm, 확장불확도(K=2) 2.070 nm
측정불확도
인증방법
원자힘 현미경을 통해 인증을 하는 것을 원칙으로 하며 촉침식 현미경에서 사용은 가능함.