(90 nm 두께, 100 mm 웨이퍼) 실리콘 기판층 위에 성장된 질화규소 박막층 두께 인증표준물질
(90 nm thick., 100 mm wafer) Certified reference material for the thickness of a thin film layer of silicon nitride grown on silicon
- 표준물질코드
- 20703504-001
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- N/A
- 판매가(VAT포함)
-
2,200,000원
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- 형태/규격
- 질화규소 박막층 두께 명목값: 90 nm, 웨이퍼 직경 : 100 mm
- 서비스유형
- 주문제조
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 타원계측기(ellipsometer)와 같은 광학적 두께 측정장치를 교정하기 위해 사용함
- 인증값
- 인증서의 "상세정보" 참조
- 측정불확도
- 인증방법
- 인증서의 "상세정보" 참조