Hf0.5Zr0.5O2 박막 두께 분석용 CRM (1.5 nm)
Hf0.5Zr0.5O2 thin film CRM (1.5 nm)
- 표준물질코드
- 10304027-001
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- 40
- 판매가(VAT포함)
-
748,000원
- 바로가기
- 형태/규격
- 10 mm x 10 mm x 0.6 mm 칩
- 서비스유형
- 재고형
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 분광타원계측법(SE), 투과전자현미경(TEM), X선 반사측정(XRR), X선 광전자 분광법(XPS) 및 기타 방법에 의한 Hf0.5Zr0.5O2 박막 두께 측정을 위한 분석 기기의 교정에 사용한다.
- 인증값
- 1.55 ± 0.11 nm [확장불확도, 95% 신뢰 수준, k=2.01]
- 측정불확도
- 인증방법
- XPS와 TEM을 이용하여 상호보정법에 의해 인증하였다.