실리콘 기판층 위에 성장된 질화규소 박막층 두께 인증표준물질
Certified reference material for the thickness of a thin film layer of silicon nitride grown on silicon
- 표준물질코드
- 207-03-524
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- 0
- 판매가(VAT포함)
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일시품절
- 형태/규격
- 질화규소 박막층 두께 명목값: 90 nm, 웨이퍼 직경 : 200 mm
- 서비스유형
- 주문제조
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 인증값
- 87.9 nm
- 측정불확도
- 1.6 nm
- 인증방법
- KRISS R-207-018