표준물질 상세정보

현미경 교정용 마이크로 스케일 인증표준물질

Micro Scale Certified Reference Materials for Calibration of Microscope

표준물질코드
KTL-CRM207-04-1
생산·공급기관
한국산업기술시험원
재고수량
0
판매가(VAT포함)
일시품절
형태/규격
시편 : 10 mm x 10 mm (지그 장착시 지름 25 mm) 재질 : 실리콘 웨이퍼
서비스유형
재고형
표준물질 구분
인증표준물질
용도
인증값
1. Pitch : (0.90~1.10) μm 2. Pitch : (1.90~2.10) μm 3. Pitch : (4.8~5.2) μm 4. Pitch : (9.7~10.3) μm
측정불확도
1. Pitch : (0.90~1.10) μm :0.04 ?m (신뢰수준 약 95 %, k = 2) 2. Pitch : (1.90~2.10) μm : 0.06 ?m (신뢰수준 약 95 %, k = 2) 3. Pitch : (4.8~5.2) μm : 0.2 ?m (신뢰수준 약 95 %, k = 2) 4. Pitch : (9.7~10.3) μm : 0.3 ?m (신뢰수준 약 95 %, k = 2)
인증방법
ISO 11952:2019