반도체공정용 인증표준물질 (사불화규소)
Tetrafluorosilane certified reference material for semiconductor process
- 표준물질코드
- 112-01-137
- 생산·공급기관
- 한국표준과학연구원
- 재고수량
- 0
- 판매가(VAT포함)
-
일시품절
- 형태/규격
- 가스 / 10 L
- 서비스유형
- 주문제조
- 표준물질 구분
- 인증표준물질
- 용도
- 인증값
- SiF₄ : 10 ?mol/mol / N₂
- 측정불확도
- 2 % (신뢰수준 95 %, k = 2)
- 인증방법
- R-112-001-2017